簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共4筆資料 檢索策略: "doping".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="柯文政"


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    利用電子迴旋共振與射頻混成電漿化學氣相沉積系統製備氮摻雜類鑽石碳薄膜
    • 材料科學與工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 陳柏霖 指導教授: 柯文政
    • 類鑽碳膜(Diamond-like carbon, DLC)具有高硬度、高絕緣性、高生物相容性、高化學惰性和導熱性等優點。本研究中,使用ECR電漿與RF電漿組成之混成式電漿化學氣相沉積系統( Hyb…
    • 點閱:235下載:1

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    以石墨烯為固態碳源摻雜之氮化鎵薄膜電性研究
    • 材料科學與工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 呂思毅 指導教授: 柯文政
    • 氮化鎵為第三代高功率半導體熱門材料,在高功率動作下,元件將被施加更高偏壓,因此,如何提升氮化鎵薄膜材料品質以及提升薄膜電阻率攸關元件能否操作在更高功率。本研究針對上述問題提出使用石墨烯介面層結構,降…
    • 點閱:204下載:4

    3

    Growth and Characterization of GaN Thin Films on Graphene/Sapphire Substrate
    • 材料科學與工程系 /108/ 博士
    • 研究生: Solomun Teklahymanot Tesfay 指導教授: 柯文政
    • 這項研究研究了通過嵌入複合氮化鋁緩衝層(AlN BL),可以在少層石墨烯(FLG)/藍寶石基板上生長高質量GaN薄膜。複合氮化鋁緩衝層分別通過濺鍍和金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)生長的低溫AlN…
    • 點閱:282下載:0
    • 全文公開日期 2025/07/01 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/07/01 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/07/01 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    利用固態碳源在藍寶石基板上製備石墨烯遮罩
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